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为了校准装置的后续发展，具备更多功能，要保证装置具有拓展功能接口。研发人员采用在装置中预留通用真空接口的方式，方便后续产品组合，拓展新的功能，如拓展漏孔校准、检漏等功能。通过真空事业部多年来的不断攻坚克难，大胆创新，目前研制成功的便携式真空计校准装置在设备外观、客户界面及操作使用上更加美观合理，具备体积小、易携带，不受环境、空间等因素影响，随时随地都可进行校准使用，

同时还具备拓展功能接口，便于拓展漏孔校准、检漏等功能，解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题，实现了现场真空计的准确校准。使用便携式真空计校准装置“小尺子”都出现在什么地方？便携式真空计校准装置自研制代至今，近几年来，产品得到国内外30多家单位的应用。

“小尺子”发挥着“大作用”，在嫦娥系列月球探测器、火星探测器、空间站、北斗导航等重大航天型号任务的研制试验及发射中得到了极大应用；在芯片、行波管、高大上电气、真空器件、高精度时钟、电池等生产过程/生产设备的定期校准中也发挥着重要作用；同时，在航空发动机、火箭、等的试验与生产，特种钢材冶炼、高纯度气体制备、装备生产现场都曾出现便携式真空计校准装置的小身影。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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感压薄膜上的电极分别与固定电极、参考电极构成敏感电容和参考电容，伺服电极位于感压薄膜下方，通过施加静电力使感压薄膜在测量真空度的过程中处于一个确定的位置，从而实现宽范围的动态压力测量。当被测压力为p时，要使感压薄膜处于平衡状态，则施加在感压薄膜上的单位面积的静电力Fe应于压力p相等，

静电力平衡式inficon电容薄膜真空规管结构图当伺服电压为VS时，薄膜上所受的静电力Fe为：式中：ε0为真空腔室的介电常数；d是伺服电极与薄膜间的距离。由式（2）、式（3）得伺服电压与压力p的关系为：如图10所示，静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的信号处理电路由微电容测量电路和静电力控制回路组成。其中，微电容测量电路用来对敏感电容的变化量测量得到压力信号，而静电力控制回路用来产生伺服电压。

图10静电力平衡式inficon电容薄膜真空计测量电路结构图为了保证静电力平衡式inficon电容薄膜真空计具有高精度以及良好的稳定性，静电力控制回路须要产生准确稳定的静电力。通常采用PID控制器作为静电力控制回路中的静电力控制器。

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inficon真空泵系列产品空气流速准确测量真空计再添新式号，选用模拟信号輸出，为准确并可靠的传输数据服务保障。20很多年来，inficon真空泵凭着数显式空气流速准确测量真空计为空气流速准确测量给予整套计划方案，这款型号规格根据模块化可以适用一切工业生产真空泵运用，它所配置的真空泵规也便于安裝，可以实现靠谱的空气流速准确测量。

因为很多真空泵运用仅可在一定的工作压力区域内开展，因此可以准确且安全性地准确测量空气流速在具体运用中十分关键。系列产品合理准确测量并操纵超滤装置中的空气流速，全新升级加上的数显式数据信号輸出作用，可以让其完成高精密且可靠的传输数据。与模拟测量法对比，可以高质量准确无误地传送用以过程控制和记载的测定数据信息，获得更为准确的結果。

系列产品产品配置M12插连接头，使该真空计即使在苛刻加工工艺自然环境中也可应用。真空泵规还可与HiPace@涡轮增压分子泵和inficon真空泵别的产品一起在网络通信中运作。在零配件层面，已经有Profibus-DP、DeviceNet或带2个电源开关点和一个LCD显示器的额外模拟输出机器设备可选择。

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